本专题涉及扫描显微镜校准的标准有7条。
国际标准分类中，扫描显微镜校准涉及到分析化学、长度和角度测量。
在中国标准分类中，扫描显微镜校准涉及到化学、放大镜与显微镜、基础标准与通用方法。
国际标准化组织，关于扫描显微镜校准的标准
ISO 11952:2019 表面化学分析.扫描探针显微镜.用SPM测定几何量:测量系统的校准
ISO 11952:2014 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 使用SPM测定几何量:测量系统校准
ISO 27911:2011 表面化学分析.扫描探针显微镜.近场光学显微镜横向分辨率的定义与校准
，关于扫描显微镜校准的标准
GOST R ISO 27911:2015 确保测量一致性的国家系统. 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 近场光学显微镜横向分辨率的定义和校准
GOST R 8.635-2007 国家测量统一性保证体系.原子力扫描探针显微镜.校准方法
国家计量技术规范，关于扫描显微镜校准的标准
JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范
英国标准学会，关于扫描显微镜校准的标准
BS ISO 27911:2011 表面化学分析.扫描探针显微镜.近场光学显微镜横向分辨率的定义和校准
