本专题涉及衬底缺陷的标准有8条。
国际标准分类中，衬底缺陷涉及到表面处理和镀涂、半导体分立器件。
在中国标准分类中，衬底缺陷涉及到、、材料防护。
，关于衬底缺陷的标准
KS M ISO 11125-5:2021 涂料和相关产品使用前钢衬底的制备.金属喷砂清理磨料的试验方法.第5部分:缺陷颗粒百分比和微观结构的测定
国际电工委员会，关于衬底缺陷的标准
IEC 63229-2021 半导体器件.碳化硅衬底上氮化镓外延膜缺陷的分类
IEC 63229:2021 半导体器件.碳化硅衬底上氮化镓外延膜缺陷的分类
中国团体标准，关于衬底缺陷的标准
T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
T/CASAS 004.1-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语
英国标准学会，关于衬底缺陷的标准
BS EN ISO 8501-3:2006 涂料和相关产品使用前钢衬底的处理.表面清洁度的目测评定.:焊接、切边和其它表面缺陷区域的处理等级
BS 7079-A3-2002 涂料和有关产品使用前钢衬底的制备.表面清洁度的目视评定.焊接点、切割边缘及其他表面缺陷区域的处理等级
韩国标准，关于衬底缺陷的标准
KS M ISO 11125-5:2002 涂料和相关产品使用前钢衬底的制备.金属喷砂清理磨料的试验方法.第5部分:有缺陷颗粒百分比和微结构的测定
