本专题涉及等离子体处理仪的标准有8条。
国际标准分类中，等离子体处理仪涉及到钢铁产品、核能工程、废物、土质、土壤学。
在中国标准分类中，等离子体处理仪涉及到核燃料元件及其分析试验方法、土壤环境质量分析方法、大气、水、土壤环境质量标准。
美国材料与试验协会，关于等离子体处理仪的标准
ASTM A1093/A1093M-15(2020)e1 导电材料电解等离子体处理加工标准规范
ASTM A1093/A1093M-15 导电材料电解等离子体处理加工标准规范
行业标准-核工业，关于等离子体处理仪的标准
EJ/T 20163-2018 后处理三氧化铀粉末中银等二十八种杂质元素的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
德国标准化学会，关于等离子体处理仪的标准
DIN EN 16171-2017 污泥,处理过的生物废弃物和土壤.利用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定元素;德文版本EN 16171-2016
DIN CEN/TS 16171-2013 污泥,处理过的生物废弃物和土壤.利用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定元素.德文版本CEN/TS 16171-2012
欧洲标准化委员会，关于等离子体处理仪的标准
EN 16170-2016 污泥,处理过的生物废弃物和土壤-利用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)测定元素
EN 16171-2016 污泥,处理过的生物废弃物和土壤-利用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定元素
，关于等离子体处理仪的标准
CSN 05 0640-1979 等离子体处理安全规则
