本专题涉及化合物工艺的标准有5条。
国际标准分类中,化合物工艺涉及到半导体材料、化工产品。
在中国标准分类中,化合物工艺涉及到化合物半导体材料、元素半导体材料、工业气体与化学气体。
德国标准化学会,关于化合物工艺的标准
DIN 50454-1-2000 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物单晶体错位的测定.第1部分:砷化镓
DIN 50456-2-1995 半导体工艺材料的试验.电子元件用模塑化合物的特性表示法.第2部分:用压力萃取法测定电离子杂质
DIN 50454-3-1994 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第3部分:镓磷化物
DIN 50454-2-1994 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物
DIN 50450-4-1993 半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1-C3烃类化合物





