本专题涉及微电子材料的标准有3条。
国际标准分类中,微电子材料涉及到半导体分立器件、电子电信设备用机电元件。
在中国标准分类中,微电子材料涉及到半导体分立器件综合。
法国标准化协会,关于微电子材料的标准
NF C96-050-10-2012 半导体器件.微电子机械器件.第10部分:MEMES材料微极压缩测试
德国标准化学会,关于微电子材料的标准
DIN EN 62047-10-2012 半导体器件.微电子机械器件.第10部分:MEMES材料微极压缩试验(IEC 62047-10-2011).德文版本 EN 62047-10-2011
英国标准学会,关于微电子材料的标准
BS EN 62047-10-2011 半导体装置.微电子机械装置.MEMS材料的微型柱压缩试验





