本专题涉及膜厚测试的标准有7条。
国际标准分类中,膜厚测试涉及到金属材料试验。
在中国标准分类中,膜厚测试涉及到金属力学性能试验方法、金属物理性能试验方法、贵金属及其合金分析方法、金属工艺性能试验方法。
国家质检总局,关于膜厚测试的标准
GB/T 17473.5-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 粘度测定
GB/T 17473.2-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定
GB/T 17473.3-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
GB/T 17473.1-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测定
GB/T 17473.6-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定
GB/T 17473.7-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 可焊性、耐焊性试验
GB/T 17473.4-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 附着力测定





