本专题涉及光刻机的标准有17条。
国际标准分类中，光刻机涉及到玻璃、光电子学、激光设备、电灯及有关装置、半导体材料、电子元器件综合、光学设备、有机化学、电子元器件组件。
在中国标准分类中，光刻机涉及到石英玻璃、电子技术专用材料、、、、、光学设备、液压油液、电子元件综合、加工专用设备。
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于光刻机的标准
GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
国家质检总局，关于光刻机的标准
GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
中国团体标准，关于光刻机的标准
T/SCS 000021-2023 i-线光刻级氟化钙晶体元件
T/ZS 0344-2022 数字化无掩模激光直写光刻机
T/JSQA 127-2022 光刻机用超高压短弧曝光光源
T/ICMTIA 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶
T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
T/ICMTIA 4.2-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
T/ICMTIA 4.1-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
T/ICMTIA 5.1-2020 集成电路用 ArF 干式光刻胶
德国标准化学会，关于光刻机的标准
DIN 32566-2007 微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范
，关于光刻机的标准
GOST R 52250-2004 电子工程材料.光刻工艺抗蚀剂.通用规范
(美国)空军，关于光刻机的标准
AIR FORCE A-A-59404-1999 便携式液压油型光刻胶配量器
美国材料与试验协会，关于光刻机的标准
ASTM F907-85(1992)e1 光刻胶旋涂用圆片旋转加速度测量的试验方法
ASTM F581-78(1991)e1 光刻胶加速老化的实施规程
美国电子电路和电子互连行业协会，关于光刻机的标准
IPC MI-660 5.3-1984 干电影光刻胶
行业标准-电子，关于光刻机的标准
SJ/T 31116-1994 PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法
