本专题涉及真空镀膜设备的标准有7条。
国际标准分类中,真空镀膜设备涉及到真空技术。
在中国标准分类中,真空镀膜设备涉及到真空技术与设备、、技术管理、加工专用设备。
国家质检总局,关于真空镀膜设备的标准
GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件
GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
中国团体标准,关于真空镀膜设备的标准
T/GVS 001-2021 真空镀膜设备 电磁兼容 屏蔽与辐射安全技术规范
工业和信息化部,关于真空镀膜设备的标准
SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
行业标准-机械,关于真空镀膜设备的标准
JB/T 53021-1999 真空镀膜设备 产品质量分等
行业标准-电子,关于真空镀膜设备的标准
SJ/T 31083-1994 DM-450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
SJ/T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法





