本专题涉及测量显微镜校准的标准有5条。
国际标准分类中,测量显微镜校准涉及到试验条件和规程综合、分析化学、长度和角度测量。
在中国标准分类中,测量显微镜校准涉及到基础标准与通用方法、化学。
国家质检总局,关于测量显微镜校准的标准
GB/T 27760-2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
国际标准化组织,关于测量显微镜校准的标准
ISO 11952:2019 表面化学分析.扫描探针显微镜.用SPM测定几何量:测量系统的校准
ISO 11952:2014 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 使用SPM测定几何量:测量系统校准
,关于测量显微镜校准的标准
GOST R ISO 27911:2015 确保测量一致性的国家系统. 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 近场光学显微镜横向分辨率的定义和校准
GOST R 8.635-2007 国家测量统一性保证体系.原子力扫描探针显微镜.校准方法





