本专题涉及能谱仪分析的标准有7条。
国际标准分类中，能谱仪分析涉及到分析化学。
在中国标准分类中，能谱仪分析涉及到基础标准与通用方法、基础标准与通用方法、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、电化学、热化学、光学式分析仪器。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于能谱仪分析的标准
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
国家质检总局，关于能谱仪分析的标准
GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准
GB/T 17361-2013 微束分析 沉积岩中自生粘土矿物鉴定 扫描电子显微镜及能谱仪方法
GB/T 25189-2010 微束分析.扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
，关于能谱仪分析的标准
KS D ISO 17974-2011(2016) 表面化学分析高分辨率俄歇电子能谱仪元素和化学状态分析用能标的校准
KS D ISO 17973-2011(2016) 表面化学分析中分辨率俄歇电子能谱仪元素分析用能标的校准
