本专题涉及深度俄歇电子能谱的标准有11条。
国际标准分类中，深度俄歇电子能谱涉及到分析化学、电子元器件综合。
在中国标准分类中，深度俄歇电子能谱涉及到基础标准与通用方法、化学助剂基础标准与通用方法、化学、标准化、质量管理。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于深度俄歇电子能谱的标准
GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
国际标准化组织，关于深度俄歇电子能谱的标准
ISO 17109-2022 表面化学分析.深度剖面.用单层和多层薄膜在X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中测定溅射速率的方法
ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
英国标准学会，关于深度俄歇电子能谱的标准
BS ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
美国材料与试验协会，关于深度俄歇电子能谱的标准
ASTM E1127-08(2015) 俄歇电子能谱深度剖面标准指南
ASTM E1127-08 俄歇电子能谱深度剖面标准指南
ASTM E1127-2008 俄歇电子能谱学中的深度压形的标准指南
ASTM E1127-03 俄歇电子能谱深度剖面标准指南
ASTM E1127-91(1997) 俄歇电子能谱深度剖面标准指南
行业标准-电子，关于深度俄歇电子能谱的标准
SJ/T 10457-1993 俄歇电子能谱术深度剖析标准导则
