本专题涉及比表面测量仪的标准有32条。
国际标准分类中，比表面测量仪涉及到辐射防护、核能工程、辐射测量、职业安全、工业卫生、计量学和测量综合、长度和角度测量、无损检测、声学和声学测量、道路工程。
在中国标准分类中，比表面测量仪涉及到辐射防护仪器、勘探采矿和工艺监测核仪器、物性分析仪器、量具与量仪、长度计量、筑路材料、电离辐射计量、辐射防护监测与评价、滚动轴承。
国家质检总局，关于比表面测量仪的标准
GB/T 29788-2013 辐射防护仪器 便携式表面污染光子测量仪和监测仪
GB/T 8997-2008 α、β表面污染测量仪与监测仪的校准
GB/T 8997-1988 α.β表面污染测量仪与监测仪的校准
GB/T 5202-1985 α、β和α-β表面污染测量仪与监测仪
GB 5202-1985 α、β 和α-β表面污染测量仪与监测仪
美国材料与试验协会，关于比表面测量仪的标准
ASTM C1057-17 使用数学模型和热测量仪测定加热表面皮肤接触温度的标准实践
ASTM D7013/D7013M-15 核表面测量仪校准设备的标准指南
ASTM C1057-12 使用数学模型和热测量仪测定加热表面皮肤接触温度的标准实践
ASTM D7013/D7013M-11 核表面测量仪校准设备的标准指南
ASTM C1057-03(2010) 使用数学模型和热测量仪测定加热表面皮肤接触温度的标准实践
ASTM C1057-03 使用数学模型和热测量仪测定加热表面皮肤接触温度的标准实践
ASTM C1057-92(1998)e1 使用数学模型和热测量仪测定加热表面皮肤接触温度的标准实践
，关于比表面测量仪的标准
TS 2495-1977 轮廓法测量表面粗糙度的仪器．轮廓顺序转换的接触（触针）式仪器．接触（触针）式轮廓测量仪．系统M
TS 930-1976 轮廓法触针式表面测量仪 渐近轮廓仪 轮廓记录仪
TS 929-1976 轮廓法表面粗糙度测量仪
行业标准-机械，关于比表面测量仪的标准
JB/T 11271-2012 接触（触针）式表面轮廓测量仪
JB/T 8204-1996 滚动轴承.激光钢球表面粗糙度测量仪
国家计量技术规范，关于比表面测量仪的标准
JJF 1105-2003 触针式表面粗糙度测量仪校准规范
英国标准学会，关于比表面测量仪的标准
BS ISO 13473-3-2002 表面轮廓用铺路材料表面结构的特性描述.轮廓测量仪的规范和分类
韩国标准，关于比表面测量仪的标准
KS A 4441-2001 放射性表面污染测量仪
KS A 4441-2001 放射性表面污染测量仪
德国标准化学会，关于比表面测量仪的标准
DIN V 44801-10-1998 α,γ和β射线表面污染测量仪和监视仪.第10部分:α和β射线安装人员污染监视仪
国际标准化组织，关于比表面测量仪的标准
ISO 1879-1981 表面粗糙度轮廓法测量仪.词汇.两种语言版
ISO 1880-1979 表面粗糙度轮廓法测量仪.逐级轮廓转换触针轮廓仪.轮廓记录仪
ISO 3274-1975 表面粗糙度轮廓法测量仪.连续轮廓转换触针轮廓仪.M系统轮廓触点仪
丹麦标准化协会，关于比表面测量仪的标准
DS/ISO 1879-1981 表面粗糙度轮廓法测量仪.词汇. 两种语言版
日本工业标准调查会，关于比表面测量仪的标准
JIS B0652-1973 干扰测量法测量表面粗糙度的测量仪
