本专题涉及椭偏仪检测的标准有10条。
国际标准分类中，椭偏仪检测涉及到无损检测、地面服务和维修设备。
在中国标准分类中，椭偏仪检测涉及到火工产品、金属无损检验方法、刀具。
国家军用标准-国防科工委，关于椭偏仪检测的标准
GJB 5895.6-2006 反坦克导弹试验方法 第6部分:质偏检测
德国标准化学会，关于椭偏仪检测的标准
PAS 1022-2004 检测材料及介电材料性质以及用椭偏仪测量薄膜层厚度的参考程序
行业标准-航空，关于椭偏仪检测的标准
HB 6939-1994 二齿球头立铣刀偏背刀用样板和校对样板.检测HB 6938-94槽铣刀用
HB 6924-1994 二齿粗加工立铣刀偏背刀用样板和校对样板.检测HB 6923-94槽铣刀用
HB 6928-1994 三齿粗加工立铣刀偏背刀用样板和校对样板.检测HB 6927-94槽铣刀用
HB 4590-1992 加工轻合金二齿立铣刀偏背刀用样板和校对样板.检测HB 4589-92槽铣刀用
，关于椭偏仪检测的标准
JUS H.P1.021-1984 工业用偏亚硫酸氢钾．技术要求和检测
JUS H.P8.034-1984 农药检测．工业用偏亚硫酸氢钾．K2SO4含量的测定
JUS H.P8.035-1984 农药的检测．工业用偏亚硫酸氢钾．铁和铅含量的测定．原子吸收分光光度法
JUS H.P8.033-1984 农药检测．工业用偏亚硫酸氢钾．SO2含量的测定
