本专题涉及硅元素 化学分析的标准有7条。
国际标准分类中，硅元素 化学分析涉及到有色金属、分析化学。
在中国标准分类中，硅元素 化学分析涉及到轻金属及其合金分析方法、半金属及半导体材料分析方法、重金属及其合金分析方法、基础标准与通用方法。
国家质检总局，关于硅元素 化学分析的标准
GB/T 14849.4-2014 工业硅化学分析方法 第4部分:杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 14849.5-2014 工业硅化学分析方法 第5部分:杂质元素含量的测定 X射线荧光光谱法
GB/T 14849.5-2010 工业硅化学分析方法.第5部分：元素含量的测定.X射线荧光光谱法
GB/T 14849.4-2008 工业硅化学分析方法.第4部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法测定元素含量
行业标准-有色金属，关于硅元素 化学分析的标准
YS/T 928.4-2013 镍、钴、锰三元素氢氧化物化学分析方法 第4部分:铁、钙、镁、铜、锌、硅、铝、钠量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
国际标准化组织，关于硅元素 化学分析的标准
ISO 17331:2004/Amd 1:2010 表面化学分析.硅晶片加工标准物质表面元素收集用化学方法和及其光分析仪(TXRF)光谱学测定.修改件1
，关于硅元素 化学分析的标准
PN H04208-03-1989 铁合金的化学分析．钼钢，硅元素含量的测定
