本专题涉及掩模 激光 仪的标准有4条。
国际标准分类中,掩模 激光 仪涉及到光电子学、激光设备、粒度分析、筛分。
在中国标准分类中,掩模 激光 仪涉及到、光学仪器综合。
中国团体标准,关于掩模 激光 仪的标准
T/ZS 0344-2022 数字化无掩模激光直写光刻机
美国材料与试验协会,关于掩模 激光 仪的标准
ASTM E1458-12 用光掩模原版校准检验激光绕射粒子定尺寸仪器的标准试验方法
ASTM E1458-92 使用光掩模网的激光衍射粒度测量仪的校准验证标准测试方法
ASTM E1458-92(2001) 用光掩模原版校准检验激光绕射粒子定尺寸仪器的试验方法





