本专题涉及硼质谱的标准有23条。
国际标准分类中，硼质谱涉及到金属材料试验、分析化学、有色金属、半导体材料、黑色金属、肥料、食品试验和分析的一般方法、核能工程。
在中国标准分类中，硼质谱涉及到半金属及半导体材料分析方法、基础标准与通用方法、电子技术专用材料、稀有金属及其合金分析方法、半金属与半导体材料综合、钢铁与铁合金分析方法、电子光学与其他物理光学仪器、、肥料与土壤调理剂、、核材料、核燃料及其分析试验方法。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于硼质谱的标准
GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
国家质检总局，关于硼质谱的标准
GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法.硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 26289-2010 高纯硒化学分析方法 硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞、镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
GB/T 223.81-2007 钢铁及合金 总铝和总硼含量的测定 微波消解-电感耦合等离子体质谱法
GB/T 20176-2006 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
中国团体标准，关于硼质谱的标准
T/NXCL 025-2023 铍中硼、钴、银、铅、镉、锂含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
天津市市场监督管理委员会，关于硼质谱的标准
DB12/T 1022-2020 土壤中有效硼含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
行业标准-地质，关于硼质谱的标准
DZ/T 0253.1-2014 生态地球化学评价动植物样品分析方法 第1部分：锂、硼、钒等19个元素量的测定 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）法
行业标准-商品检验，关于硼质谱的标准
SN/T 3515-2013 钢铁及合金硼、钛、锆、铌、锡、锑、钽、钨、铅的测定.电感耦合等离子体质谱法
美国材料与试验协会，关于硼质谱的标准
ASTM C1771-13 固相萃取除铀后用电感耦合等离子体质谱法测定水解六氟化铀中硼、硅和锝的标准试验方法
法国标准化协会，关于硼质谱的标准
NF X21-070-2010 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度.
英国标准学会，关于硼质谱的标准
BS ISO 14237:2010 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
国际标准化组织，关于硼质谱的标准
ISO 14237:2010 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
ISO 14237:2000 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
行业标准-有色金属，关于硼质谱的标准
YS/T 226.13-2009 硒化学分析方法.第13部分:银、铝、砷、硼、汞、铋、铜、镉、铁、镓、铟、镁、镍、铅、硅、锑、锡、碲、钛、锌量的测定.电感耦合等离子体质谱法
国家军用标准-国防科工委，关于硼质谱的标准
GJB 5404.16-2005 高温合金痕量元素分析方法.第16部分:电感耦合等离子体-质谱法测定.硼、钪、镓、银、铟、锡、锑、铈、铪、砣、铅和铋含量
韩国标准，关于硼质谱的标准
KS D ISO 14237:2003 表面化学分析.次级离子质谱法.使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定
日本工业标准调查会，关于硼质谱的标准
JIS K0143-2000 表面化学分析.次级离子质谱法.利用均匀掺杂材料测定硅中硼原子浓度
澳大利亚标准协会，关于硼质谱的标准
AS ISO 14237:2006 表面化学分析．次级离子质谱测量法．使用均一的绝缘材料测定硅中的硼原子浓度
AS ISO 17560:2006 表面化学分析．次级离子质谱测量法．硅中注入硼的深度分布分析法
