本专题涉及等离子体与质谱技术的标准有3条。
国际标准分类中,等离子体与质谱技术涉及到集成电路、微电子学、水质、分析化学。
在中国标准分类中,等离子体与质谱技术涉及到半导体分立器件综合。
德国标准化学会,关于等离子体与质谱技术的标准
DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析
美国材料与试验协会,关于等离子体与质谱技术的标准
ASTM D6800-2012 微量金属的电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)分析法使用还原沉淀预浓缩技术对水样制备的标准操作规程
澳大利亚标准协会,关于等离子体与质谱技术的标准
AS 4873.1-2005 感应耦合等离子体.质谱分析法(ICP-MS)的建议规范.原则和技术





