本专题涉及隧道扫描显微镜的标准有11条。
国际标准分类中，隧道扫描显微镜涉及到长度和角度测量。
在中国标准分类中，隧道扫描显微镜涉及到基础标准与通用方法、放大镜与显微镜。
国家质检总局，关于隧道扫描显微镜的标准
GB/Z 26083-2010 八辛氧基酞菁铜分子在石墨表面吸附结构的测试方法（扫描隧道显微镜）
美国材料与试验协会，关于隧道扫描显微镜的标准
ASTM E2382-04(2020) 扫描隧道显微镜和原子力显微镜中的扫描仪和尖端相关人工标准指南
ASTM F1438-93(2020) 用于气体分配系统部件扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准测试方法
ASTM E2382-04(2012) 扫描隧道显微镜和原子力显微镜中的扫描仪和尖端相关人工标准指南
ASTM F1438-93(2012) 用于气体分配系统部件扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准测试方法
ASTM E2382-2004(2012) 扫描隧道显微镜学和原子力显微镜学中扫描器和与触点相关物品的标准指南
ASTM E2382-2004 扫描隧道显微镜学和原子力显微镜学中扫描器和与触点相关物品的指南
ASTM F1438-93(1999) 用于气体分配系统部件扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准测试方法
ASTM F1438-93(2005) 用于气体分配系统部件扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准测试方法
ASTM F1438-1993(2012) 使用气体分配系统组件中扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准试验方法
，关于隧道扫描显微镜的标准
GOST R 8.593-2009 确保测量一致性的国家体系.原子力扫描隧道显微镜.检定规程
