本专题涉及硅氧含量的标准有14条。
国际标准分类中，硅氧含量涉及到半导体材料、金属材料试验、绝缘流体、太阳能工程、纸和纸板。
在中国标准分类中，硅氧含量涉及到元素半导体材料、半金属及半导体材料分析方法、半金属与半导体材料综合、金属无损检验方法、金属物理性能试验方法、太阳能、半金属。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于硅氧含量的标准
GB/T 40561-2021 光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
国家质检总局，关于硅氧含量的标准
GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量经向变化测量方法
GB/T 1557-1989 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
行业标准-电子，关于硅氧含量的标准
SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
德国标准化学会，关于硅氧含量的标准
DIN V VDE V 0126-18-6-2007 太阳能硅片.第6部分:光电器件用硅中代位碳原子和间隙氧含量的测量方法
DIN 50438-1-1995 半导体工艺材料检验.用红外吸收法测量硅的杂质含量.第1部分:氧
美国材料与试验协会，关于硅氧含量的标准
ASTM F1188-00 红外线吸收法测定硅中填隙原子氧含量的标准试验方法
ASTM F1366-92(1997)e1 用次级离子质谱仪测量重掺杂硅基底中氧含量的测试方法
台湾地方标准，关于硅氧含量的标准
CNS 12105-1987 纸中硅氧聚合物含量试验法
