本专题涉及扩散电阻的标准有3条。
国际标准分类中，扩散电阻涉及到半导体材料、绝缘流体。
在中国标准分类中，扩散电阻涉及到半金属与半导体材料综合、金属物理性能试验方法、半金属。
GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法
GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定
ASTM F374-00a 用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层的薄膜电阻的测试方法
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