本专题涉及干涉显微镜的标准有20条。
国际标准分类中，干涉显微镜涉及到绝缘流体、表面处理和镀涂、长度和角度测量、金属的腐蚀。
在中国标准分类中，干涉显微镜涉及到金相检验方法、数学、放大镜与显微镜、材料防护、长度计量。
国家质检总局，关于干涉显微镜的标准
GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法
美国材料与试验协会，关于干涉显微镜的标准
ASTM B651-83(2019) 使用双光束干涉显微镜的镍加铬或铜镍镍铬电镀表面腐蚀点测量的标准测试方法
ASTM B651-83(2015) 使用双光束干涉显微镜的镍加铬或铜镍镍铬电镀表面腐蚀点测量的标准测试方法
ASTM B651-83(2010) 使用双光束干涉显微镜的镍加铬或铜镍镍铬电镀表面腐蚀点测量的标准测试方法
ASTM B651-83(2006) 使用双光束干涉显微镜的镍加铬或铜镍镍铬电镀表面腐蚀点测量的标准测试方法
ASTM B588-88(2006) 用双光束干涉显微镜技术测量透明或不透明涂层厚度的标准试验方法
ASTM B588-88(1994) 用双光束干涉显微镜技术测量透明或不透明涂层厚度的标准试验方法
ASTM B588-88(2001) 用双光束干涉显微镜技术测量透明或不透明涂层厚度的标准试验方法
ASTM B651-83(2001) 用双光束干涉显微镜测量镍加铬或铜加镍加铬电镀表面腐蚀位置的标准试验方法
ASTM B651-83(1995) 用双光束干涉显微镜测量镍加铬或铜加镍加铬电镀表面腐蚀位置的标准试验方法
ASTM B651-1983(2006) 用双束干涉显微镜测量镍+铬或铜+镍+铬电镀表面腐蚀部位的试验方法
ASTM B651-1983(2001) 用双束干涉显微镜测量镍+铬或铜+镍+铬电镀表面腐蚀部位的试验方法
ASTM B651-1983(2015) 用双束干涉显微镜测量镍+铬或铜+镍+铬电镀表面腐蚀部位的试验方法
ASTM B651-1983(2010) 双束干涉显微镜测量镍+铬或铜+镍+铬电镀表面腐蚀部位的标准试验方法
ASTM B651-1983(1995) 用双束干涉显微镜测量镍+铬或铜+镍+铬电镀表面腐蚀部位的试验方法
国际标准化组织，关于干涉显微镜的标准
ISO 25178-603:2013 几何产品规范（GPS）——表面结构:区域零件603:非接触（相移干涉显微镜）仪器的标称特性
欧洲标准化委员会，关于干涉显微镜的标准
EN ISO 25178-603-2009 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:区域. 第603部分:非接触式的标称特性(移相干涉显微镜)工具
EN ISO 25178-603-2009 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:区域. 第603部分:非接触式的标称特性(移相干涉显微镜)工具
国家计量检定规程，关于干涉显微镜的标准
JJG 77-2006 干涉显微镜检定规程
JJG 77-1983 干涉显微镜检定规程
