本专题涉及质谱 杂质 离子的标准有3条。
国际标准分类中，质谱 杂质 离子涉及到金属材料试验、半导体材料。
在中国标准分类中，质谱 杂质 离子涉及到半金属及半导体材料分析方法、元素半导体材料。
GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
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