溅射离子泵检测

本专题涉及溅射离子泵的标准有11条。

国际标准分类中，溅射离子泵涉及到真空技术、流体系统和通用件、泵。

在中国标准分类中，溅射离子泵涉及到真空技术与设备、泵、其他生产设备。

国家质检总局，关于溅射离子泵的标准

GB/T 25755-2010 真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量

行业标准-机械，关于溅射离子泵的标准

JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

JB/T 4082-1991 溅射离子泵.技术条件

JB/T 4081-1991 溅射离子泵.型式与基本参数

德国标准化学会，关于溅射离子泵的标准

DIN 28429-2003 真空技术.溅射离子泵验收规范

，关于溅射离子泵的标准

GOST 5.1807-1973 GIN-0.5-1M型离子溅射泵.认证产品质量要求

GOST 5.413-1970 BP-150供电的粒状冷却二极管型离子溅射泵NMDO-01-01(NORD-100).认证产品质量要求

行业标准-电子，关于溅射离子泵的标准

SJ 1779-1981 普通二极型溅射离子泵.参数系列

SJ 1781-1981 溅射离子泵.试验方法

SJ 1780-1981 普通二极型溅射离子泵.技术条件