本专题涉及x-射线电子能谱的标准有53条。
国际标准分类中，x-射线电子能谱涉及到分析化学、电学、磁学、电和磁的测量、光学设备、无损检测、光学和光学测量、计量学和测量综合、电子元器件综合。
在中国标准分类中，x-射线电子能谱涉及到基础标准与通用方法、综合测试系统、电子光学与其他物理光学仪器、化学、化学助剂基础标准与通用方法、、光学测试仪器、颜料、标准化、质量管理。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于x-射线电子能谱的标准
GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
国家质检总局，关于x-射线电子能谱的标准
GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
GB/T 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南
GB/T 29556-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
GB/T 28893-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 28632-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
GB/T 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则
国际标准化组织，关于x-射线电子能谱的标准
ISO 17109-2022 表面化学分析.深度剖面.用单层和多层薄膜在X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中测定溅射速率的方法
ISO 20903-2019 表面化学分析 - 俄歇电子光谱和X射线光电子能谱 - 用于确定峰值强度的方法和报告结果时所需的信息
ISO 18554:2016 表面化学分析.电子光谱法.用X射线光电子能谱法分析的材料中X射线非预期降解的评定和校正程序
ISO 18554-2016 表面化学分析. 电子光谱. 采用X射线光电子能谱分析法对材料进行分析的X射线的意外降解的识别, 评估和修正程序
ISO 19830-2015 表面化学分析. 电子能谱. X射线光电子能谱峰拟合的最低报告要求
ISO 19830:2015 表面化学分析 - 电子光谱 - X射线光电子能谱峰值拟合的最低报告要求
ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
ISO 17109:2015 表面化学分析 - 深度分析 - X射线光电子能谱法中的溅射速率测定方法 俄歇电子能谱和二次离子质谱法使用单层和多层薄膜的溅射深度分析
ISO 18118:2015 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.均匀材料定量分析用实验测定相对灵敏度因子的使用指南
ISO 20903:2011 表面化学分析——俄歇电子能谱和X射线光电子能谱——报告结果时用于确定峰值强度和所需信息的方法
ISO 18516:2006 表面化学分析——俄歇电子能谱和X射线光电子能谱——横向分辨率的测定
ISO 20903:2006 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.报告结果时确定峰值强度和所需信息的方法
ISO/TR 19319-2003 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
ISO/TR 19319:2003 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.用分析仪观察横向分辨率 分析面积和样品面积的测定
美国材料与试验协会，关于x-射线电子能谱的标准
ASTM E996-19 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E996-10(2018) 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E995-16 俄歇电子光谱和X射线光电子能谱背景减法技术标准指南
ASTM E995-11 俄歇电子光谱和X射线光电子能谱背景减法技术标准指南
ASTM E995-2011 在俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中应用背景消除技术的标准指南
ASTM E996-10 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E996-2010 俄歇电子光谱仪和X射线光电子能谱的报告数据的标准规程
ASTM E996-04 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E995-04 俄歇电子光谱和X射线光电子能谱背景减法技术标准指南
ASTM E996-2004 俄歇电子光谱仪和X射线光电子能谱的报告数据的标准规程
ASTM E996-94(1999) 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E995-97 俄歇电子和X射线光电子能谱中背景差减技术的标准指南
ASTM E996-1994(1999) 俄歇电子能谱分析和X射线光电子光谱分析数据报告的标准规程
英国标准学会，关于x-射线电子能谱的标准
BS ISO 18554-2016 表面化学分析. 电子光谱. 采用X射线光电子能谱分析法对材料进行分析的X射线的意外降解的识别, 评估和修正程序
BS ISO 19830-2015 表面化学分析. 电子能谱. X射线光电子能谱峰拟合的最低报告要求
BS ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 20903-2011 表面化学分析.俄歇电子能谱和X-射线光电光谱学.测定峰强度的方法和报告结果要求的信息
BS ISO 20903-2011 表面化学分析.俄歇电子能谱和X-射线光电光谱学.测定峰强度的方法和报告结果要求的信息
广东省质量技术监督局，关于x-射线电子能谱的标准
DB44/T 1215-2013 利用扫描电子显微术和X射线能谱法表征单壁碳纳米管的特性
DB44/T 1216-2013 利用扫描电子显微术和X射线能谱法表征石墨烯的特性
日本工业标准调查会，关于x-射线电子能谱的标准
JIS K0167-2011 表面化学分析.俄歇电子光谱和X射线光电子能谱学.匀质材料定量分析用实验室测定相对敏感因子的使用指南
法国标准化协会，关于x-射线电子能谱的标准
NF X21-058-2006 表面化学分析.俄歇电子能谱学和X射线光电子光谱法.测定峰强度使用的方法和报告结果时需要的信息
，关于x-射线电子能谱的标准
KS D ISO 18118-2005(2020) 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱均匀材料定量分析用实验测定的相对灵敏度因子的使用指南
KS D ISO 19319-2005(2020) 表面化学分析－俄歇电子能谱和X射线光电子能谱－分析仪横向分辨率、分析面积和样品面积的测定
韩国标准，关于x-射线电子能谱的标准
KS D ISO 19319-2005 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
KS D ISO 19319-2005 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
福建省地方标准，关于x-射线电子能谱的标准
DB35/T 110-2000 油漆物证检测电子探针和扫描电镜X射线能谱分析方法
行业标准-电子，关于x-射线电子能谱的标准
SJ/T 10458-1993 俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
澳大利亚标准协会，关于x-射线电子能谱的标准
AS ISO 18118-2006 表面化学分析．俄歇电子能谱法和X射线光电子光谱法．均质材料定量分析中实验测定的相对灵敏系数使用指南
AS ISO 19319-2006 表面化学分析．Augur电子能谱法和X射线光电子光谱法．分析员对横向分辨率；分析区域和样品区域的目视检测
