本专题涉及半微分析的标准有2条。
国际标准分类中，半微分析涉及到分析化学。
在中国标准分类中，半微分析涉及到基础标准与通用方法。
ISO 15632:2012 微束分析——用于电子探针微分析的能量色散X射线光谱仪规范和检查的选定仪器性能参数
ISO 14594 CORR 1-2009 微光束分析.电子探针微分析.波长色散光谱法测定实验参数用指南.技术勘误1
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