本专题涉及掩膜的标准有11条。
国际标准分类中，掩膜涉及到电子元器件综合、光学设备、粘合剂和胶粘产品、印制电路和印制电路板、电学、磁学、电和磁的测量。
在中国标准分类中，掩膜涉及到光学设备、基础标准与通用方法、农林技术、其他电子仪器设备、加工专用设备。
德国标准化学会，关于掩膜的标准
DIN 32566-2007 微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范
美国电子电路和电子互连行业协会，关于掩膜的标准
IPC TM-650 5.5.6.2-1998 条纹焊料掩膜涂层标准测试模式
IPC TM-650 5.5.3.11-1998 标本G焊料掩膜
IPC TM-650 5.5.6.1-1998 焊料掩膜涂层标准测试模式
，关于掩膜的标准
CSN 35 8971 Cast.1-1984 半导体设备．掩膜基件和掩膜 名称和定义
CSN 35 8971-1984 半导体器件．掩膜基件和掩膜．特征参数的测量方法
行业标准-电子，关于掩膜的标准
SJ/T 11079-1996 掩膜对准曝光机通用技术条件
SJ/T 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T 31119-1994 掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
