本专题涉及掩膜 光刻机的标准有1条。
国际标准分类中,掩膜 光刻机涉及到电子元器件综合、光学设备。
在中国标准分类中,掩膜 光刻机涉及到光学设备。
DIN 32566-2007 微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范
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