掩模检测

本专题涉及掩模的标准有38条。

国际标准分类中，掩模涉及到玻璃、集成电路、微电子学、电子元器件综合、光电子学、激光设备、粘合剂和胶粘产品、粒度分析、筛分、印制电路和印制电路板、焊接、钎焊和低温焊、工业自动化系统。

在中国标准分类中，掩模涉及到石英玻璃、半导体集成电路、加工专用设备、电子工业生产设备综合、电子技术专用材料、、技术管理、焊接与切割、综合技术、光学仪器综合、标准化、质量管理。

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于掩模的标准

GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板

国家质检总局，关于掩模的标准

GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

中国团体标准，关于掩模的标准

T/ZS 0344-2022 数字化无掩模激光直写光刻机

美国材料与试验协会，关于掩模的标准

ASTM D6123/D6123M-97(2020) 轻型包装和通用掩模用压敏胶带标准规范

ASTM E1458-12(2016) 使用光掩模网的激光衍射粒度测量仪的校准验证标准测试方法

ASTM E1458-12 使用光掩模网的激光衍射粒度测量仪的校准验证标准测试方法

ASTM D6123/D6123M-97(2012) 轻型包装和通用掩模用压敏胶带标准规范

ASTM E1458-2012 用光掩模原版校准检验激光绕射粒子定尺寸仪器的标准试验方法

ASTM E1458-92 使用光掩模网的激光衍射粒度测量仪的校准验证标准测试方法

ASTM D6123/D6123M-97(2007) 轻型包装和通用掩模用压敏胶带标准规范

ASTM D6123/D6123M-97(2003) 轻型包装和通用掩模用压敏胶带标准规范

ASTM D6123/D6123M-97 轻型包装和通用掩模用压敏胶带标准规范

ASTM E1458-1992(2001) 用光掩模原版校准检验激光绕射粒子定尺寸仪器的试验方法

ASTM F614-80(1991)e1 光掩模制造用光学透镜畸变的试验方法

工业和信息化部，关于掩模的标准

SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

国际电工委员会，关于掩模的标准

IEC PAS 61249-8-5:2014 永久性焊接掩模和柔性覆盖材料的鉴定和性能规范

IEC PAS 61249-8-5-2014 永久性焊接掩模和柔性覆盖材料的鉴定和性能规范

，关于掩模的标准

IPC SM-839-1990 前和后焊料掩模应用清洁指引

美国电子电路和电子互连行业协会，关于掩模的标准

IPC HDBK-840-2006 载有彩色页的焊料掩模手册

IPC PE-740A SECTION 3-1997 像掩模

IPC A-311-1996 像掩模生成和使用过程控制

IPC D-310C-1991 像掩模生成和测量技术准则

IPC MI-660 5.6-1984 入围液态焊料掩模

IPC MI-660 5.4-1984 液态感光焊料掩模

IPC MI-660 5.5-1984 干膜焊料掩模

(美国)军事条例和规范，关于掩模的标准

ARMY MIL-P-50775 B NOTICE 2-1997 中间掩模图像投影仪:11744800 M21

ARMY MIL-P-50775 B (1)-1993 中间掩模图像投影仪:11744800 M21

ARMY MIL-P-50775 B VALID NOTICE 1-1987 中间掩模图像投影仪:11744800 M21

ARMY MIL-P-50775 B-1981 中间掩模图像投影仪:11744800 M21

行业标准-电子，关于掩模的标准

SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

未注明发布机构，关于掩模的标准

IPC HDBK-840 载有彩色页的焊料掩模手册