本专题涉及辉光质谱的标准有40条。
国际标准分类中，辉光质谱涉及到金属材料试验、有色金属、分析化学、半导体材料、光学和光学测量。
在中国标准分类中，辉光质谱涉及到半金属及半导体材料分析方法、贵金属及其合金分析方法、基础标准与通用方法、元素半导体材料、重金属及其合金分析方法、稀有高熔点金属及其合金、稀有金属及其合金分析方法、、稀有轻金属及其合金、轻金属及其合金分析方法、半金属与半导体材料综合、电子技术专用材料。
国家质检总局，关于辉光质谱的标准
GB/T 37211.3-2022 金属锗化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
GB/T 32651-2016 采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法
GB/T 23275-2009 钌粉化学分析方法.铅、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、铑、硅量的测定.辉光放电质谱法
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于辉光质谱的标准
GB/T 36590-2018 高纯银化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于辉光质谱的标准
GB/T 33236-2016 多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法
工业和信息化部，关于辉光质谱的标准
YS/T 1530-2022 高纯锡化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1495-2021 高纯铑化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1473-2021 高纯钼化学分析方法 ？痕量杂质元素的测定 ？辉光放电质谱法
YS/T 1505-2021 高纯钌化学分析方法？杂质元素含量的测定？辉光放电质谱法
YS/T 1506-2021 高纯铱化学分析方法？杂质元素含量的测定？辉光放电质谱法
YS/T 1493-2021 高纯铂化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1494-2021 高纯金化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1504-2021 高纯钯化学分析方法？杂质元素含量的测定？辉光放电质谱法
XB/T 628-2020 高纯稀土金属化学分析方法 痕量元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1347-2020 高纯铪化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1288.4-2018 高纯锌化学分析方法 第4部分：痕量元素含量的测定 辉光放电质谱法
国际标准化组织，关于辉光质谱的标准
ISO/TS 15338:2020 表面化学分析 - 辉光放电质谱 - 操作程序
ISO/TS 15338:2009 表面化学分析.辉光放电质谱测定法(GD-MS).使用介绍
中国团体标准，关于辉光质谱的标准
T/SDAS 4-2016 高纯金化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
行业标准-有色金属，关于辉光质谱的标准
YS/T 981.1-2014 高纯铟化学分析方法 镁、铝、硅、硫、铁、镍、铜、锌、砷、银、镉、锡、铊、铅的测定 高质量分辨率辉光放电质谱法
YS/T 1012-2014 高纯镍化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1011-2014 高纯钴化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 891-2013 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 899-2013 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 923.2-2013 高纯铋化学分析方法 第2部分: 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 895-2013 高纯铼化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 901-2013 高纯钨化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 917-2013 高纯镉化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 897-2013 高纯铌化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 229.4-2013 高纯铅化学分析方法 第4部分:痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 922-2013 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 871-2013 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 35-2012 高纯锑化学分析方法 镁、锌、镍、铜、银、镉、铁、硫、砷、金、锰、铅、铋、硅、硒含量的测定 高质量分辨率辉光放电质谱法
福建省地方标准，关于辉光质谱的标准
DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法
英国标准学会，关于辉光质谱的标准
BS DD ISO/TS 15338:2009 表面化学分析.辉光放电质谱法(GD-MS).用法介绍
美国材料与试验协会，关于辉光质谱的标准
ASTM F1593-08 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法
ASTM F1710-08 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级钛中微量金属杂质的标准试验方法
ASTM F1593-97(2002) 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法
ASTM F1593-97 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法
澳大利亚标准协会，关于辉光质谱的标准
AS 3685-1998 辉光放电质谱法（GD-MS）的建议程序和原则
