本专题涉及质谱 杂质的标准有80条。
国际标准分类中，质谱 杂质涉及到金属材料试验、有色金属、分析化学、半导体材料、无机化学、核能工程、光纤通信、物理学、化学。
在中国标准分类中，质谱 杂质涉及到半金属及半导体材料分析方法、稀有金属及其合金分析方法、贵金属及其合金分析方法、基础学科综合、元素半导体材料、无机化工原料综合、稀有高熔点金属及其合金、核材料、核燃料及其分析试验方法、轻金属及其合金分析方法、化学、光通信设备、半导体分立器件综合、、重金属及其合金分析方法、稀有轻金属及其合金、、电子技术专用材料、放射性金属及其合金。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于质谱 杂质的标准
GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 36590-2018 高纯银化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
未注明发布机构，关于质谱 杂质的标准
GB/T 13747.27-2020 锆及锆合金化学分析方法 第27部分：痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于质谱 杂质的标准
GB/T 35418-2017 纳米技术 碳纳米管中杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
国家质检总局，关于质谱 杂质的标准
GB/T 31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 30903-2014 无机化工产品 杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)
GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 29849-2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 12690.13-2003 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 钼、钨量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法和电感耦合等离子体质谱法
GB/T 12690.5-2003 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 铝、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铅的测定 电感耦合等离子体发射光谱法(方法1)钴、锰、铅、镍、铜、锌、铝、铬的测定 电感耦合等离子体质谱法(方法2)
GB/T 12690.12-2003 稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 钍量的测定 偶氮胂III分光光度法和电感耦合等离子体质谱法
工业和信息化部，关于质谱 杂质的标准
YS/T 1505-2021 高纯钌化学分析方法？杂质元素含量的测定？辉光放电质谱法
YS/T 1506-2021 高纯铱化学分析方法？杂质元素含量的测定？辉光放电质谱法
YS/T 1504-2021 高纯钯化学分析方法？杂质元素含量的测定？辉光放电质谱法
YS/T 1493-2021 高纯铂化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1495-2021 高纯铑化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1473-2021 高纯钼化学分析方法 ？痕量杂质元素的测定 ？辉光放电质谱法
YS/T 1494-2021 高纯金化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 870-2020 纯铝化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 1347-2020 高纯铪化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
美国材料与试验协会，关于质谱 杂质的标准
ASTM C1637-21 酸消解和电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）分析测定钚材料中杂质的标准试验方法
ASTM C1637-2021 钚材料中杂质的标准试验方法. 酸消解法和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)分析
ASTM C1287-18 通过电感耦合等离子体质谱法测定核级铀化合物杂质的标准测试方法
ASTM C1637-13 钚金属中杂质测定的标准测试方法:酸消解和电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）分析
ASTM C1637-2013 钚金属中杂质的标准试验方法:酸消解法和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)分析
ASTM C1287-10 通过电感耦合等离子体质谱法测定核级铀化合物杂质的标准测试方法
ASTM C1287-2010 感应耦合等离子体质谱法测定核级铀化合物中杂质的标准试验方法
ASTM F1710-2008 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级钛中微量金属杂质的标准试验方法
ASTM F1593-2008 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法
ASTM C1637-06 钚金属中杂质测定的标准测试方法:酸消解和电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）分析
ASTM C1637-2006 钚金属中杂质的标准试验方法:酸性发酵作用和感应耦合等离子体质谱分析法(ICP-MS)
ASTM C1287-03 用电感耦合等离子体质谱法测定二氧化铀中杂质的标准试验方法
ASTM F1593-1997 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法
ASTM F1593-1997(2002) 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法
ASTM C1287-95 用电感耦合等离子体质谱法测定二氧化铀中杂质的标准试验方法
ASTM C1287-95(2001) 用电感耦合等离子体质谱法测定二氧化铀中杂质的标准试验方法
英国标准学会，关于质谱 杂质的标准
BS PD ISO/TS 13278-2017 纳米技术.使用电感耦合等离子体质谱法确定用碳纳米管样品的主要杂质
BS DD ISO/TS 13278-2011 纳米技术.使用电感耦合等离子体质谱法确定用碳纳米管样品的主要杂质
BS DD ISO/TS 13278-2011 纳米技术.使用电感耦合等离子体质谱法确定用碳纳米管样品的主要杂质
BS ISO 26062-2010 核工艺学.核燃料.用电感耦合等离子体质谱法测量铀和钚基材料中元素状态杂质的规程.
BS ISO 26062-2010 核工艺学.核燃料.用电感耦合等离子体质谱法测量铀和钚基材料中元素状态杂质的规程.
青海省质量技术监督局，关于质谱 杂质的标准
DB63/T 1611-2017 光纤预制棒原料四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
国际标准化组织，关于质谱 杂质的标准
ISO/TS 13278:2017 纳米技术 - 使用电感耦合等离子体质谱法测定碳纳米管样品中的元素杂质
ISO/TS 13278-2017 纳米技术.电感耦合等离子体质谱法测定碳纳米管样本中元素状态杂质
ISO/TS 13278-2011 纳米技术.电感耦合等离子体质谱法测定碳纳米管样本中元素状态杂质
ISO/TS 13278:2011 纳米技术——电感耦合等离子体质谱法测定碳纳米管样品中的元素杂质
ISO 26062-2010 核技术.核燃料.使用电感耦合等离子体质谱法测量铀和钚基础材料中杂质元素的规程
ISO 26062:2010 核技术——核燃料——用电感耦合等离子体质谱法测量铀和钚基材料中元素杂质的程序
，关于质谱 杂质的标准
GOST R 57061-2016 铜. 采用感应耦合等离子体质谱法测量铜的杂质质量分数
GOST R 57061-2016 铜. 采用感应耦合等离子体质谱法测量铜的杂质质量分数
内蒙古自治区质量技术监督局，关于质谱 杂质的标准
DB15/T 925-2015 单一稀土氧化物中非稀土杂质化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法测定氧化铝、氧化铬、氧化锰、氧化钴、氧化镍、氧化铜、氧化锌、氧化铅、氧化镉和氧化砷含量
行业标准-有色金属，关于质谱 杂质的标准
YS/T 473-2015 工业镓化学分析方法 杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 1011-2014 高纯钴化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1012-2014 高纯镍化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 896-2013 高纯铌化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 897-2013 高纯铌化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 892-2013 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 922-2013 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 229.4-2013 高纯铅化学分析方法 第4部分:痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 900-2013 高纯钨化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 917-2013 高纯镉化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 891-2013 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 899-2013 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 923.2-2013 高纯铋化学分析方法 第2部分: 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 898-2013 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 901-2013 高纯钨化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 895-2013 高纯铼化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 871-2013 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 870-2013 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 34.1-2011 高纯砷化学分析方法.电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量
YS/T 742-2010 氧化镓化学分析方法杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法
YS/T 244.9-2008 高纯铝化学分析方法 第9部分:电感耦合等离子体质谱法测定杂质含量
YS/T 473-2005 工业镓化学分析方法 杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
行业标准-商品检验，关于质谱 杂质的标准
SN/T 3796-2014 滑石粉中酸溶杂质元素(铅、镉、铬、砷、汞、铜、锌、锰、镍、钴)的测定 电感耦合等离子体质谱法
云南省质量技术监督局，关于质谱 杂质的标准
DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
国际电工委员会，关于质谱 杂质的标准
ISO TS 13278-2011 纳米技术.使用电感耦合等离子体质谱法测定碳纳米管样品中的元素杂质
法国标准化协会，关于质谱 杂质的标准
NF M60-469-2010 核工艺学.核燃料.用电感耦合等离子体质谱法测量铀和钚基材料中元素状态杂质的程序.
