本专题涉及微束分析的标准有76条。
国际标准分类中，微束分析涉及到试验条件和规程综合、分析化学、词汇、光学设备、金属材料试验、字符集和信息编码。
在中国标准分类中，微束分析涉及到电子光学与其他物理光学仪器、基础标准与通用方法、电化学、热化学、光学式分析仪器、放大镜与显微镜、基础标准与通用方法、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、基础标准与通用方法、化学试剂综合、色谱仪、数据元表示方法、物理学与力学、化学。
国家质检总局，关于微束分析的标准
GB/T 15246-2022 微束分析 硫化物矿物的电子探针定量分析方法
GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
GB/T 32055-2015 微束分析 电子探针显微分析 波谱法元素面分析
GB/T 18735-2014 微束分析 分析电镜(AEM/EDS)纳米薄标样通用规范
GB/T 30705-2014 微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则
GB/T 30703-2014 微束分析 电子背散射衍射取向分析方法导则
GB/T 18907-2013 微束分析 分析电子显微术 透射电镜选区电子衍射分析方法
GB/T 17361-2013 微束分析 沉积岩中自生粘土矿物鉴定 扫描电子显微镜及能谱仪方法
GB/T 15244-2013 微束分析 硅酸盐玻璃的定量分析 波谱法及能谱法
GB/T 19501-2013 微束分析 电子背散射衍射分析方法通则
GB/T 17359-2012 微束分析.能谱法定量分析
GB/T 28634-2012 微束分析.电子探针显微分析.块状试样波谱法定量点分析
GB/T 27788-2011 微束分析.扫描电镜.图像放大倍率校准导则
GB/T 25189-2010 微束分析.扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
GB/T 23414-2009 微束分析.扫描电子显微术.术语
GB/T 15247-2008 微束分析.电子探针显微分析.测定钢中碳含量的校正曲线法
GB/T 21636-2008 微束分析.电子探针显微分析(EPMA)术语
GB/T 4930-2008 微束分析.电子探针分析.标准样品技术条件导则
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于微束分析的标准
GB/T 41074-2021 微束分析 用于波谱和能谱分析的粉末试样制备方法
GB/T 20724-2021 微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法
GB/T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析（EPMA） 术语
GB/T 41076-2021 微束分析 电子背散射衍射 钢中奥氏体的定量分析
GB/T 40300-2021 微束分析 分析电子显微学 术语
GB/T 4930-2021 微束分析 电子探针显微分析 标准样品技术条件导则
GB/T 27788-2020 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则
GB/T 17360-2020 微束分析 钢中低含量硅、锰的电子探针定量分析方法
GB/T 35097-2018 微束分析 扫描电镜-能谱法 环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的测定
GB/T 35098-2018 微束分析 透射电子显微术 植物病毒形态学的透射电子显微镜鉴定方法
GB/T 35099-2018 微束分析 扫描电镜-能谱法 大气细粒子单颗粒形貌与元素分析
未注明发布机构，关于微束分析的标准
GB/T 38532-2020 微束分析 电子背散射衍射 平均晶粒尺寸的测定
GB/T 38531-2020 微束分析 致密岩石微纳米级孔隙结构计算机层析成像（CT）分析方法
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于微束分析的标准
GB/T 34172-2017 微束分析 电子背散射衍射 金属及合金的相分析方法
GB/T 34002-2017 微束分析 透射电子显微术 用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法
GB/T 33834-2017 微束分析 扫描电子显微术 生物试样扫描电子显微镜分析方法
GB/T 33838-2017 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法
国际标准化组织，关于微束分析的标准
ISO 22029:2022 微束分析.光谱数据交换用EMSA/MAS标准文件格式
ISO 24639:2022 微束分析.分析电子显微镜.用电子能量损失光谱法进行元素分析的能量标度校准程序
ISO 23749:2022 微束分析.电子背散射衍射.钢中奥氏体的定量测定
ISO 23703:2022 微束分析.用电子背散射衍射（EBSD）评估奥氏体不锈钢机械损伤的取向分析指南
ISO 23420:2021 微束分析.分析电子显微镜.电子能量损失谱分析用能量分辨率的测定方法
ISO 13067:2020 微束分析 - 电子反向散射衍射 - 平均晶粒尺寸的测量
ISO 21466:2019 微束分析.扫描电子显微镜.用CD-SEM评定临界尺寸的方法
ISO 20263:2017 微束分析 - 分析透射电子显微镜 - 分层材料横截面图像中界面位置的测定方法
ISO 19214:2017 微束分析. 分析电子显微术. 采用透射电子显微镜术测定丝状晶体显著增长方向的方法
ISO 22493:2014 微束分析. 扫描电子显微术. 词汇
ISO 17470:2014 微束分析. 电子探针微量分析. 用波长色散X射线光谱测定法定性点分析指南
ISO 11938:2012 微束分析. 电子探针微量分析. 使用波长色散光谱对元素映射的分析方法
，关于微束分析的标准
GOST R ISO 13067:2016 确保测量一致性的国家系统. 微束分析. 电子背散射衍射. 平均粒度的测量
GOST R ISO 22309:2015 确保测量一致性的国家系统. 微束分析. 采用能量扩散光谱测定法 (EDS) 对原子序数大于等于11 (Na) 的元素进行定量分析
广东省质量技术监督局，关于微束分析的标准
DB44/T 1527-2015 微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法
德国标准化学会，关于微束分析的标准
DIN ISO 22029:2014 微束分析. 光谱数据交换用EMSA/MAS标准文件格式 (ISO 22029-2012)
英国标准学会，关于微束分析的标准
BS ISO 22493:2014 微束分析. 扫描电子显微术. 词汇
BS ISO 17470:2014 微束分析. 电子探针显微分析. 采用波长分散X射线光谱测定法的定性点分析指南
BS ISO 15932:2013 微束分析. 分析电子显微术. 词汇
BS ISO 11938:2013 微束分析.电子探针显微分析.使用波长色散光谱对元素映射的分析方法
BS ISO 15632:2012 微束分析. 用于电子探针显微分析的能量分散X射线光谱仪规范和检查用所选仪器性能参数
BS ISO 24173:2009 微束分析.使用电子反向散射体衍射的方位测量准则
法国标准化协会，关于微束分析的标准
NF X21-016-2014 微束分析. 分析电子显微术. 词汇
NF X21-004-2012 微束分析.原子数目为11(钠)或更多元素用采用能量分布光谱(EDS)的定量分析
NF X21-014-2012 微束分析.电子背散射衍射.平均粒度的测量
日本工业标准调查会，关于微束分析的标准
JIS K0189-2013 微束分析.电子探针显微分析.波长色散X射线光谱学用实验参数的测定
韩国标准，关于微束分析的标准
KS D ISO 23833:2012 微束分析.电子探针微小分析.词汇
