本专题涉及显微 光谱仪的标准有3条。
国际标准分类中，显微 光谱仪涉及到分析化学。
在中国标准分类中，显微 光谱仪涉及到光学测试仪器、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置。
GB/T 33252-2016 纳米技术 激光共聚焦显微拉曼光谱仪性能测试
ISO 15632:2021 微束分析.与扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）一起使用的能量色散X射线光谱仪（EDS）规范和检查用选定仪器性能参数
BS ISO 15632-2012 微束分析. 用于电子探针显微分析的能量分散X射线光谱仪规范和检查用所选仪器性能参数
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