气相工艺检测

本专题涉及气相 工艺的标准有9条。

国际标准分类中，气相 工艺涉及到天然气、玻璃、职业安全、工业卫生、化工产品、分析化学、涂料涂覆工艺。

在中国标准分类中，气相 工艺涉及到天然气、石英玻璃、工业气体与化学气体、大气环境有毒害物质分析方法、基础标准与通用方法、材料防护。

国家质检总局，关于气相 工艺的标准

GB/T 28794.5-2012 天然气　在一定不确定度下用气相色谱法测定组成　第5部分：实验室和在线工艺系统中用三根色谱柱测定氮、二氧化碳和C1至C5及C6+的烃类

GB/T 27894.5-2012 天然气.在一定不确定度下用气相色谱法测定组成.第5部分：实验室和在线工艺系统中用三根色谱柱测定氮、二氧化碳和C1<下标1>至C5<下标5>及C6+<下标6><上标+>的烃类

行业标准-建材，关于气相 工艺的标准

JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

国际标准化组织，关于气相 工艺的标准

ISO 15011-5:2011 焊接和相关工艺的健康与安全——烟雾和气体取样的实验室方法第5部分:使用热解气相色谱-质谱法识别焊接或切割全部或部分有机材料组成的产品时产生的热降解产物

德国标准化学会，关于气相 工艺的标准

DIN 50450-9-2003 半导体工艺材料测试.载气和掺杂气体杂质测定.第9部分:用气相色谱法测定气态氯化氢中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氢和C<下标1>-C<下标3>-烃类含量

DIN 50450-4-1993 半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1－C3烃类化合物

美国国家标准学会，关于气相 工艺的标准

ANSI/ASTM D6060-2001 使用便携式气相色层分析仪进行工艺通风孔取样的惯例

美国材料与试验协会，关于气相 工艺的标准

ASTM D6060-1996(2009) 使用便携式气相色层分析仪进行工艺通风孔取样的标准实施规程

行业标准-电子，关于气相 工艺的标准

SJ 20897-2003 聚对二甲苯气相沉积涂敷工艺规范