本专题涉及电子探针微量分析的标准有74条。
国际标准分类中，电子探针微量分析涉及到试验条件和规程综合、词汇、分析化学、金属材料试验、光学设备、光学和光学测量、陶瓷。
在中国标准分类中，电子探针微量分析涉及到电子光学与其他物理光学仪器、基础标准与通用方法、电化学、热化学、光学式分析仪器、基础标准与通用方法、综合技术、化学、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、物理学与力学、钢铁与铁合金分析方法、特种陶瓷、颜料。
国家质检总局，关于电子探针微量分析的标准
GB/T 15246-2022 微束分析 硫化物矿物的电子探针定量分析方法
GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
GB/T 32055-2015 微束分析 电子探针显微分析 波谱法元素面分析
GB/T 30705-2014 微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则
GB/T 28634-2012 微束分析.电子探针显微分析.块状试样波谱法定量点分析
GB/T 15247-2008 微束分析.电子探针显微分析.测定钢中碳含量的校正曲线法
GB/T 17506-2008 船舶黑色金属腐蚀层的电子探针分析方法
GB/T 4930-2008 微束分析.电子探针分析.标准样品技术条件导则
GB/T 21636-2008 微束分析.电子探针显微分析(EPMA)术语
GB/T 20725-2006 波谱法定性点分析电子探针显微分析导则
GB/T 17506-1998 船舶黑色金属腐蚀层的电子探针分析方法
GB/T 17366-1998 矿物岩石的电子探针分析试样的制备方法
GB/T 4930-1993 电子探针分析标准样品通用技术条件
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于电子探针微量分析的标准
GB/T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析（EPMA） 术语
GB/T 4930-2021 微束分析 电子探针显微分析 标准样品技术条件导则
GB/T 17360-2020 微束分析 钢中低含量硅、锰的电子探针定量分析方法
，关于电子探针微量分析的标准
KS D ISO 23833-2022 微束分析.电子探针显微分析（EPMA）.词汇
KS D ISO 15632-2018 微束分析 - 用于电子探针微量分析的能量色散X射线光谱仪的规范和检查的选定仪器性能参数
KS D ISO 14595-2018 微束分析 - 电子探针微量分析 - 认证参考材料（CRM）规范指南
KS D ISO 14594-2018 微束分析 - 电子探针微量分析 - 波长色散光谱实验参数测定指南
KS D ISO 22489-2018 微束分析 - 电子探针微量分析 - 使用波长色散X射线光谱法的批量样品的定量点分析
KS D ISO 23833-2018 微束分析 - 电子探针微量分析（Epma） - 词汇
KS D ISO 16592-2011(2016) 微束分析－电子探针显微分析－用校准曲线法测定钢中碳含量的指南
KS D ISO 16592-2011(2021) 微束分析－电子探针微量分析－用校准曲线法测定钢中碳含量的指南
国际标准化组织，关于电子探针微量分析的标准
ISO 23692:2021 微束分析-电子探针显微分析-连铸钢产品中锰枝晶偏析的定量分析
ISO 15632:2021 微束分析.与扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）一起使用的能量色散X射线光谱仪（EDS）规范和检查用选定仪器性能参数
ISO 19463:2018 微束分析 - 电子探针显微分析仪（EPMA） - 执行质量保证程序的指南
ISO 19463-2018 微光束分析.电子探针显微分析仪（EPMA）.执行质量保证程序的指南
ISO 22489-2016 微光束分析.电子探针微量分析.运用波长色散X射线光谱测量法定量分析块状样品
ISO 14594:2014 微束分析 - 电子探针微量分析 - 波长色散光谱实验参数测定指南
ISO 14595:2014 微束分析.电子探针微量分析.认证标准物质（CRM）规范指南
ISO 17470:2014 微束分析——电子探针微量分析——波长色散X射线光谱法定性点分析指南
ISO 17470-2014 微束分析. 电子探针微量分析. 用波长色散X射线光谱测定法定性点分析指南
ISO 23833:2013 微束分析——电子探针微量分析（EPMA）——词汇
ISO 23833-2013 微光束分析.电子探针微量分析(EPMA).词汇
ISO 16592-2012 微光束分析.电子探针显微分析.用校准曲线法测定钢的碳含量的指南
ISO 15632:2012 微束分析——用于电子探针微分析的能量色散X射线光谱仪规范和检查的选定仪器性能参数
ISO 16592:2012 微束分析——电子探针微量分析——用校准曲线法测定钢中碳含量的指南
ISO 11938:2012 微束分析——电子探针微量分析——用波长色散光谱法进行元素映射分析的方法
ISO 11938-2012 微束分析. 电子探针微量分析. 使用波长色散光谱对元素映射的分析方法
ISO 14594 CORR 1-2009 微光束分析.电子探针微分析.波长色散光谱法测定实验参数用指南.技术勘误1
ISO 23833:2006 微束分析.电子探针微量分析（EPMA）.词汇
ISO 23833-2006 微光束分析.电子探针微量分析(EPMA).词汇
ISO 22489-2006 微光束分析.电子探针微量分析.运用波长色散X射线光谱测量法定量分析块状样品
ISO 16592:2006 微束分析.电子探针微量分析.用校准曲线法测定钢中碳含量的指南
ISO 16592-2006 微光束分析.电子探针显微分析.用校准曲线法测定钢的碳含量的指南
ISO 17470:2004 微束分析.电子探针微量分析.波长色散X射线光谱法定性点分析指南
ISO 17470-2004 微光束分析.电子探针显微分析.波长分散X射线光谱法分析质量点的指南
ISO 14595:2003 微束分析——电子探针微量分析——认证标准物质（CRM）规范指南
英国标准学会，关于电子探针微量分析的标准
BS ISO 22489-2016 微光束分析.电子探针微量分析.用波长色散X-射线光谱测量法作块状样品的定量点分析
BS ISO 17470-2014 微束分析. 电子探针显微分析. 采用波长分散X射线光谱测定法的定性点分析指南
BS ISO 11938-2013 微束分析.电子探针显微分析.使用波长色散光谱对元素映射的分析方法
BS ISO 23833-2013 微光束分析.电子探针微量分析(EPMA).词汇
BS ISO 23833-2013 微光束分析.电子探针微量分析(EPMA).词汇
BS ISO 11938-2013 微束分析.电子探针显微分析.使用波长色散光谱对元素映射的分析方法
BS ISO 16592-2012 微光束分析.电子探针显微分析.用校准曲线法测定钢碳含量的指南
BS ISO 15632-2012 微束分析. 用于电子探针显微分析的能量分散X射线光谱仪规范和检查用所选仪器性能参数
BS ISO 22489-2007 微光束分析.电子探针微量分析.用波长色散X-射线光谱测量法作块状样品的定量点分析
BS EN 1071-4-2006 高级工业陶瓷.陶瓷涂层的试验方法.用电子探针微量分析(EPMA)测定化学成分
德国标准化学会，关于电子探针微量分析的标准
DIN ISO 16592-2015 微光束分析.电子探针显微分析.用校准曲线法测定钢的碳含量的指南(ISO 16592-2012)
日本工业标准调查会，关于电子探针微量分析的标准
JIS K0189-2013 微束分析.电子探针显微分析.波长色散X射线光谱学用实验参数的测定
JIS K0189-2013 微束分析.电子探针显微分析.波长色散X射线光谱学用实验参数的测定
JIS K0190-2010 微光束分析.电子探针显微分析.波长分散X射线光谱法对质量点分析用指南
韩国标准，关于电子探针微量分析的标准
KS D ISO 23833-2012 微束分析.电子探针微小分析.词汇
KS D ISO 22489-2012 微光束分析.电子探针微量分析.运用波长色散X射线光谱测量法定量分析块状样品
KS D ISO 22489-2012 微光束分析.电子探针微量分析.运用波长色散X射线光谱测量法定量分析块状样品
KS D ISO 16592-2011 微光束分析.电子探针显微分析.用校准曲线法测定钢碳含量的指南
法国标准化协会，关于电子探针微量分析的标准
NF X21-013-2012 微光束分析.电子探针微量分析(EPMA).应用波长色散光谱学进行元素映射分析方法
NF X21-009-2008 微光束分析.电子探针微量分析(EPMA).词汇
NF X21-007-2008 微光束分析.电子探针显微分析.用校准曲线法测定钢中碳含量的指南
NF X21-002-2007 微光束分析.电子探针微量分析.波长色散光谱学用实验参数测定指南
NF X21-006-2007 微光束分析.电子探针微量分析.用波长色散X-射线光谱测量法进行块状样品的定量点分析
NF X21-003-2006 微光束分析.电子探针显微分析.波长分布X射线光谱测量法定量分析指南
福建省地方标准，关于电子探针微量分析的标准
DB35/T 110-2000 油漆物证检测电子探针和扫描电镜X射线能谱分析方法
