本专题涉及硅片氧碳含量的标准有2条。
国际标准分类中,硅片氧碳含量涉及到太阳能工程、集成电路、微电子学。
在中国标准分类中,硅片氧碳含量涉及到太阳能、微电路综合。
DIN V VDE V 0126-18-6-2007 太阳能硅片.第6部分:光电器件用硅中代位碳原子和间隙氧含量的测量方法
SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法
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