本专题涉及薄膜厚度的测量的标准有30条。
国际标准分类中，薄膜厚度的测量涉及到表面处理和镀涂、分析化学、长度和角度测量、罐、听、管、损检测、涂料和清漆、非金属矿。
在中国标准分类中，薄膜厚度的测量涉及到材料防护、基础标准与通用方法、工业技术玻璃、包装材料与容器、金属理化性能试验方法综合、金属损检验方法、长度计量、涂料、建材原料矿。
未注明发布机构，关于薄膜厚度的测量的标准
GB/T 38518-2020 柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于薄膜厚度的测量的标准
GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
美国材料与试验协会，关于薄膜厚度的测量的标准
ASTM D8331/D8331M-20 用加固光学干涉法用非破坏性方法测量薄膜涂层厚度的标准试验方法
ASTM D5796-20 使用镗孔装置通过破坏性方法测量薄膜线圈涂覆系统的干膜厚度的标准测试方法
ASTM D5796-10(2015) 使用镗孔装置通过破坏性方法测量薄膜线圈涂覆系统的干膜厚度的标准测试方法
ASTM D5796-10 使用镗孔装置通过破坏性方法测量薄膜线圈涂覆系统的干膜厚度的标准测试方法
ASTM D5796-03(2010) 使用镗孔装置通过破坏性方法测量薄膜线圈涂覆系统的干膜厚度的标准测试方法
ASTM D5796-2010 用钻孔装置进行破坏法测量薄膜涂覆系统的干膜厚度的标准试验方法
ASTM E252-2006(2013) 采用质量测量的箔片, 薄板和薄膜厚度的标准试验方法
ASTM E252-2006 质量测量法测定箔片、薄板和薄膜厚度的标准试验方法
ASTM E252-05 用质量测量法测定薄片和薄膜厚度的标准试验方法
ASTM E252-2005 质量测量法测定薄箔、薄板和薄膜厚度的标准试验方法
ASTM E252-04 用质量测量法测定薄膜厚度的标准试验方法
ASTM E252-2004 用质量测量法测定薄箔和薄膜厚度的标准试验方法
ASTM D5796-03 使用镗孔装置通过破坏性方法测量薄膜线圈涂覆系统的干膜厚度的标准测试方法
ASTM D5796-2003(2010) 用钻孔装置破坏性测量薄膜盘绕覆层系统的干膜厚度的标准试验方法
ASTM D5796-2003 用钻孔装置破坏性测量薄膜盘绕覆层系统的干膜厚度的标准试验方法
ASTM D5796-99 使用镗孔装置通过破坏性方法测量薄膜线圈涂覆系统的干膜厚度的标准测试方法
ASTM D5796-1999 用钻孔装置进行破坏法测量薄膜涂覆系统的干膜厚度的标准试验方法
德国标准化学会，关于薄膜厚度的测量的标准
DIN EN 13048-2009 包装.铝软管.内部清漆薄膜厚度测量方法.英文版本DIN EN 13048-2009-08
PAS 1022-2004 检测材料及介电材料性质以及用椭偏仪测量薄膜层厚度的参考程序
欧洲标准化委员会，关于薄膜厚度的测量的标准
EN 13048-2009 包装.铝软管.内部清漆薄膜厚度测量方法
EN 13048-2000 包装.铝软管.内部清漆薄膜厚度测量方法
英国标准学会，关于薄膜厚度的测量的标准
BS EN 15042-1-2006 覆层厚度测量和表面波纹表征.使用激光感应表面声波法测定薄膜的弹性常数,密度和厚度用指南
BS 5806-1979 云母块、薄片、薄膜和碎片的厚度测量法
法国标准化协会，关于薄膜厚度的测量的标准
NF T30-124-1991 涂料和清漆 .干性薄膜厚度测量.磁通量损测量法
NF T30-121-1974 涂料.干性薄膜厚度的测定.千分尺测量法
国际标准化组织，关于薄膜厚度的测量的标准
ISO 5972:1978 云母块、薄片、薄膜和裂片.厚度测量
，关于薄膜厚度的测量的标准
SIS 18 41 58-1973 油漆．由刻度盘指示器线性测量测定薄膜厚度
