本专题涉及表面等离子体的标准有12条。
国际标准分类中，表面等离子体涉及到航天系统和操作装置、金属材料试验、半导体材料、表面处理和镀涂、纺织产品、集成电路、微电子学、黑色金属、光电子学、激光设备。
在中国标准分类中，表面等离子体涉及到环境条件、半金属及半导体材料分析方法、元素半导体材料、钢铁与铁合金分析方法、基础标准与通用方法、半导体分立器件综合、电力半导体器件、部件、材料防护。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于表面等离子体的标准
GB/T 41458-2022 空间环境 产生航天器表面最恶劣电位差的等离子体环境
GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
国家质检总局，关于表面等离子体的标准
GB/T 29849-2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 24514-2009 钢表面锌基和(或)铝基镀层单位面积镀层质量和化学成分测定.重量法、电感耦合等离子体原子发射光谱法和火焰原子吸收光谱法
海关总署，关于表面等离子体的标准
SN/T 5286-2021 进出口纺织品 富马酸二甲酯的测定 表面等离子体共振法
SN/T 5287-2021 进出口纺织品 双酚A的测定 表面等离子体共振法
行业标准-商品检验，关于表面等离子体的标准
SN/T 4240-2015 电子电气产品 金属部件表面镀镍层中铅、镉含量测定 电感耦合等离子体质谱法
德国标准化学会，关于表面等离子体的标准
DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析
，关于表面等离子体的标准
GOST R ISO 17925-2012 钢表面锌基和/或铝基镀层. 单位面积镀层质量和化学成分的测定. 重量法, 电感耦合等离子体原子发射光谱法和火焰原子吸收光谱法
韩国标准，关于表面等离子体的标准
KS C 7105-2007 等离子体显示面板PDP模块表面的玻璃基板测量方法
KS C 7105-2007 等离子体显示面板PDP模块表面的玻璃基板测量方法
行业标准-机械，关于表面等离子体的标准
JB/T 8927-1999 铝及铝合金等离子体增强电化学表面陶瓷化(PECC)膜/有机涂层
