本专题涉及扫描式仪器的标准有11条。
国际标准分类中，扫描式仪器涉及到长度和角度测量、分析化学、医疗设备。
在中国标准分类中，扫描式仪器涉及到基础标准与通用方法、机械量仪表、自动秤重装置与其他检测仪表、计量综合。
国家质检总局，关于扫描式仪器的标准
GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范（GPS）表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性
国际标准化组织，关于扫描式仪器的标准
ISO 15632:2021 微束分析.与扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）一起使用的能量色散X射线光谱仪（EDS）规范和检查用选定仪器性能参数
ISO 25178-604-2013 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第604部分:非接触式标称特征(连贯性扫描干涉法)仪器
ISO 25178-604:2013 几何产品规范（GPS）——表面结构:ArealPart 604:非接触（相干扫描干涉测量）仪器的标称特性
德国标准化学会，关于扫描式仪器的标准
DIN EN ISO 25178-605-2014 几何产品技术规格(GPS). 表面结构: 平面式. 第605部分: 非接触式(连贯性扫描干涉法)仪器的标称特性(ISO 25178-605-2014); 德文版本EN ISO 25178-605-2014
DIN EN ISO 25178-604-2013 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第604部分:非接触式标称特征(连贯性扫描干涉法)仪器(ISO 25178-604-2013).德文版本EN ISO 25178-604-2013
法国标准化协会，关于扫描式仪器的标准
NF E05-031-604-2013 几何产品规格(GPS). 表面纹理: 面. 第604部分: 非接触式(连贯性扫描干涉法)仪器的标称特性
英国标准学会，关于扫描式仪器的标准
BS EN ISO 25178-604-2013 几何产品规范(GPS). 表面纹理: 面. 非接触式(连贯性扫描干涉法)仪器的标称特性
欧洲标准化委员会，关于扫描式仪器的标准
EN ISO 25178-604-2013 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第604部分:非接触式标称特征(连贯性扫描干涉法)仪器
，关于扫描式仪器的标准
GOST R IEC/T0 61948-2-2008 核医疗学仪器.例行测试.第2部分:闪光照相机和单光子逸出电脑断层扫描成像
GOST R IEC/T0 61948-2-2008 核医疗学仪器.例行测试.第2部分:闪光照相机和单光子逸出电脑断层扫描成像
