国家标准《水平法砷化镓单晶及切割片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位有研光电新材料有限责任公司、有色金属技术经济研究院、广东先导先进材料股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、雅波拓(福建)新材料有限公司。
主要起草人于洪国 、林泉 、马英俊 、赵敬平 、李素青 、马远飞 、李万朋 、许所成 、权盼 、朱刘 、周铁军 、闫方亮 、杨丽霞 、付萍 。
全部代替GB/T 11094-2007
标准号: GB/T 11094-2020
发布日期: 2020-09-29
实施日期: 2021-08-01
全部代替标准: GB/T 11094-2007
标准类别: 产品
中国标准分类号: H83
国际标准分类号: 29.045
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门: 国家标准化管理委员会
全部代替 GB/T 11094-2007
20031803-T-610 水平法砷化镓单晶及切割片
20173767-T-610 水平法砷化镓单晶及切割片
GB/T 11094-2007 水平法砷化镓单晶及切割片
水平法砷化镓单晶及切割片
GB/T 11094-1989 水平法砷化镓单晶及切割片
GB/T 11093-1989 液封直拉法砷化镓单晶及切割片
20031795-T-610 液封直拉法砷化镓单晶及切割片
GB/T 11093-2007 液封直拉法砷化镓单晶及切割片
20065636-T-469 锑化铟多晶、单晶及切割片
GB/T 11072-1989 锑化铟多晶、单晶及切割片
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