国家标准《硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、锡华瑛微电子技术有限公司、龙腾半导体有限公司、厦门科鑫电子有限公司。
主要起草人骆红 、潘文宾 、赵而敬 、孙燕 、张海英 、徐新华 、温子瑛 、胡金枝 、李素青 、马林宝 、李俊需 。
基础信息
标准号： GB/T 39145-2020
发布日期： 2020-10-11
实施日期： 2021-09-01
标准类别： 方法
中国标准分类号： H17
国际标准分类号： 77.040
| 77 冶金 |
| 77.040 金属材料试验 |
归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门： 国家标准化管理委员会
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