GB/T 40417-2021 电子特气六氟丁二烯-CMA/CNAS认证第三方检测机构|中析检测官网

国家标准《电子特气六氟丁二烯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位浙江省化工研究院有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、昊华气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、衢州氟硅技术研究院、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。

主要起草人史婉君、张建君、李翔宇、郭君、付梦月、侯玲玲、褚人财、李霞、谭慧、何经余、曹素英、傅铸红、陈艳珊、马建修、曹小林、杨俊豪、王新喜、孙猛、陈洁、吴靓、方华、于庆伟、何波、唐中伟、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、吴克安、白占旗、鬲春利、谭依玲、徐龙、曹元洪、周鹏云、陈凯。