GB/T 21287-2021 电子特气三氟化氮

发布时间：2025-09-18 00:00:00

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国家标准《电子特气三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位昊华气体有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。

主要起草人王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、唐霞梅、李光辉、周鹏云、黄超。

全部代替GB/T 21287-2007