GB/T 21287-2021 电子特气三氟化氮-CMA/CNAS认证第三方检测机构|中析检测官网

国家标准《电子特气三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

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全部代替GB/T 21287-2007