GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

发布时间：09-18 所属栏目：检测标准作者：北京中科光析科学技术研究所

国家标准《流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、锡市分析测试学会、中国电子技术标准化研究院、锡市计量测试院、乐山市产品质量监督检验所、洛阳中硅高科技有限公司、中节能太阳能科技（镇江）有限公司、集萃新材料研发有限公司、常州大学、福建省计量科学研究院、上海材料研究所、苏州博飞克分析技术服务有限公司。

主要起草人何莉、杨君、王美娟、蒋威、丁彬斌、鲍军、刘晓霞、鲁文锋、王旭辉、王彬、王赶强、梁洪、楚东旭、邱艳梅、马昀锋、黄国平、王桃霞、薛小强、罗海燕、马冲先、何永强。

基础信息

标准号： GB/T 40566-2021

发布日期： 2021-10-11

实施日期： 2022-05-01

标准类别：方法

中国标准分类号： H82

国际标准分类号： 29.045

29 电气工程

29.045 半导体材料

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

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