XB/T 515-2020钪铝合金靶材

标准号 XB/T 515-2020

发布日期 2020-12-09

实施日期 2021-04-01

中国标准分类号 H65

国际标准分类号 77.120.99

主管部门 工业和信息化部

行业分类 制造业

20110426-T-610 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

YS/T 1234-2018 铬钼合金（CrMo）靶材

YS/T 1129-2016 钨钛合金靶材

YS/T 1235-2018 钼钛合金（MoTi）靶材

金及金合金靶材

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