SJ/T 11761-2020200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

标准号 SJ/T 11761-2020

发布日期 2020-12-09

实施日期 2021-04-01

中国标准分类号 L 95

国际标准分类号 31.55

归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门 工业和信息化部

行业分类

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